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      臺湾HTC真空阀门知识-半导体

      作者:济圣阀门 日期:2019-07-19 点击:1777

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      台湾HTC真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小快三平台app,切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。

      真空阀门产品

      真空阀

      用于高真空或超高真空系统设备,当必须在封闭的真空处理系统中保持真空。真空阀用于控制进入真空腔体的气流,隔离,排气,提供减压或控制传导。闸阀、Inline阀和角阀是用于高真空或超高真空应用的最常见类型的真空阀快三平台app。额外的阀门类型包括蝶阀,传输阀,球阀,钟摆阀,全金属阀,真空阀,铝合金角阀,特氟龙涂层真空阀和直通阀快三平台app快三平台app。

      蝶阀

      是快速打开的阀门快三平台app,由金属圆盘或叶片组成,其枢轴线与管道中的流动方向成直角快三平台app,当在轴上旋转时,阀门密封阀体中的阀座。

      传输阀(矩形闸阀)

      适用于负载锁定真空腔体和转移室之间的分隔阀,以及转移室和半导体制造设备中的处理室之间的分隔阀。

      真空球阀

      是四分之一转直通流量阀快三平台app快三平台app,具有圆形封闭组件,带有匹配的圆形阀座快三平台app,可实现均匀的密封应力。

      钟摆阀

      是在过程真空腔体和涡轮分子泵入口之间安装一个大节流阀。这种真空钟摆阀通常设计为闸阀或摆阀,应用包括OLED,FPDPV工业制造系统快三平台app。

      全金属阀门

      设计用于超高真空环境,其中高温不允许使用弹性体和低温垫片金属?快三平台app?珊婵镜娜鹗舴趴商峁┐哟笃沟?/span>10-11mbar以下的可靠高温密封。

      真空阀门

      可在半导体生产系统和化学和微粒污染的应用中可靠地运行。它们可用于粗真空,高真空或超高真空环境。

      铝合金角阀

      的入口与出口成直角。这些角阀材料为铝A6061-T6,用于半导体和仪器制造,研发和工业真空系统的粗到高真空应用。

      铁氟龙涂层真空阀是一种完全设计的不锈钢真空组件设备,具有耐用且高度耐化学腐蚀的涂层。

      台湾HTC真空阀门具有下列特点

      压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米快三平台app。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ 150℃的范围。

      对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。

      按介质压力真空阀门可分成四组:

      1)低真空阀门:介质压力p=760~1毫米汞柱.

      2)中真空阀门:p=1×10-3 毫米汞柱。

      3)高真空阀门:p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.

      4)超高真空阀门:p1×10-8 毫米汞柱。

      作为通径小于250毫米的闭路阀门快三平台app,被广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制快三平台app,但这主要是对于大通径来说的快三平台app??捎玫幕褂星?形旋塞阀(球阀)、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广,因为旋塞阀需要用油润滑快三平台app,使油汽可能进入真空系统,而这是不允许的。真空阀门既可用现场手控和??乜烊教╝pp,也可用电动、电磁传动(电磁阀)、气动和液动控制快三平台app。

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